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      產品詳情
      • 全自動晶圓超掃

      • SONOSCAN超聲掃描顯微鏡AW300是一種先進的儀器,可根據操作員所選擇的接受/拒收標準,對晶圓進行自動處理、檢驗和分類。
      • 產品文檔:

      全自動晶圓超掃

      發布時間 : 2022-05-15 11:35

      AW300TM

      設備分類:生產型

      該系列設備是專門為粘合晶圓及硅片設計的全自動C-SAM系統。
      它容量大,產能高,靈敏度高,通常用來檢測SOI.MEMS等晶圓。由于這些材料對超聲波幾乎是透明的,SONOSCAN利用自己專門研制的高頻探頭進行分析,以獲取更精細的圖像。AW系列能夠探測直徑小于5微米的空洞和薄如200埃的分層。
       
      特色功能:
       

      • 全自動檢測200/300mm的晶圓
      • SONOSCAN磚利的瀑布式探頭
      • 三個25片的晶圓匣盒
      • 可選水循環和給排水模塊
      • 高**定位的機械臂實現wafer自動上下料,將產能擴大化


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